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具有變化周期的亞波長光柵成像
時間:2019-04-12 15:07來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
摘要

當用近軸光照明時,亞波長光柵僅產生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態法對亞波長光柵進行嚴格模擬。

 
1. 建模任務


 
2. 結果



 
3. 文件和技術信息

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