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傅立叶显微镜对单分子成像

使用傅里叶模态法分析闪耀光

薄元近似(TEA)与傅立叶模态

薄元近似与FMM/RCWA

参数运行的可编程模式的应用

参数运行的扫描模式

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光栅阶次分析器

无源奇偶-时间光栅的衍射特性

无源奇偶时间光栅

薄元近似(TEA)与傅立叶模态方法(FMM)在光栅建模中的对比
时间:2020-04-23 12:11来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
摘要

薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。

     
建模任务

 
正弦光栅—效率与高度(TEA)

 
正弦光栅—透射相位曲线

 
正弦光栅—透射相位曲线

 
正弦光栅—衍射效率

 
正弦光栅—效率与周期

 
正弦光栅—特定周期下的相位曲线

 
闪耀光栅—效率与高度(TEA)

 
闪耀光栅—透射相位曲线

 
闪耀光栅—衍射效率

 
闪耀光栅—效率与周期

 
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线


 
VirtualLab Fusion一瞥

 
VirtualLab Fusion工作流程
                                  
设置光栅结构
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
分析光栅衍射效率
−光栅阶次分析器[用户案例]
通过参数运行检查不同参数的影响
− 利用参数运行文档[用户案例]
 
 
VirtualLab Fusion技术

 
文件信息
 



 
进一步阅读
- 用于光导耦合的倾斜光栅分析
- 光栅级次分析器
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