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Macleod中雙面鍍膜的模擬
時間:2019-04-28 10:29來源:訊技光電作者: 技術部點擊:打印
傳統意義上,Essential Macleod的設計是由一系列完全干涉的薄膜組成,并只在基板的一側形成膜層。而Stack是由一組膜層和基板組成,基板的兩個面是平行的,以便在相同材料中傳播角度相同。Stack中,膜層被介質(或基底)分開,介質(或基底)由其材料和厚度定義。入射介質和出射介質是半無限的,但其它介質的厚度都是有限的。另一方面,膜層是繼續支持完全一致性,即完全干涉。這通常是真實膜層和基底的情況,即考慮基板后表面反射或者鍍膜的情況。
 
為什么介質或基板不支持干涉?這是一個系統問題。基板的厚度通常以毫米而不是納米來測量,因此路徑差異非常長。入射角、波長和厚度的微小變化,雖然對路徑差異的比例效應很小,但對它們所代表的相位變化有很大影響,因為許多波長都涉及到這些路徑差異。當各種光線組合在一起時,干涉條紋會被沖掉,只留下總的輻照度。在單個設計文檔時,我們總是假設使用完全準直的單色光,其中入射角和波長變化的相應影響通常很小,可以忽略不計,從而在設計中存在完全相干效應。
 
圖1.基板足夠厚時,無需考慮干涉效應。如果考慮基板的干涉,要將基板看成一層薄膜,而整個系統看作一個膜系
 
另一個問題是,如果角度或波長的變化仍然較大,即使設計中的層也顯示出減少的干涉效應,那么會發生什么,什么叫做部分相干?此工具存在于Stack文檔中。計算參數包括光中缺少準直性(以圓錐半角表示)和缺少單色性(以光譜帶寬表示)的影響。這些在Design文檔中不可用(除非在Stack中設置,稍后將介紹)。
 
Stack中的第一列是標題為Medium Type,這里有兩種選擇:Parallel以及Wedge。透射或反射的光將由某種接收器收集,這種接收器在計算中假定為均勻靈敏度。此接收器可能無法收集在不同表面之間來回反射后最終出現的所有光束。兩種極端情況是收集所有光束,以便沒有丟失,這種情況稱為Parallel。 另一個極端是它只收集從離它最近的表面反射一次的光束,這種情況被稱為Wedged。假設所有其他反射光束走出系統,在傳輸中,那么Wedge不收集反射光束。如果我們有成像系統,Wedge計算代表形成的像,而Parallel計算代表所有可能的光。因此,它們之間的差異是雜散光。
 
 
圖2.原始設計文檔(上部)通過勾選Display Setup對話框中的Medium條目添加了Medium Type和Medium Thickness列。然后將3毫米厚平行基板與背面膜層一起添加,最后將出射介質設置為空氣。
 
一般來說,薄膜材料消光系數的準確度都比較低,不能用于膜層較厚的情況。對于較厚的材料,更可靠的一個方法是給定厚度內透射率,由于此參數比吸收系數橫容易獲得,因此我們使用此參數來定義Stack中介質的屬性。
 
要使用此附加功能,請打開Design,然后在File菜單中選擇Display Setup。單擊Medium。設計文件的外觀如圖2所示,有兩個新的列,Medium Type和Medium Thickness,另外一種方法是在File菜單中選擇New-Stack。
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