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薄元近似与FMM/RCWA
时间:2020-04-20 13:33来源:讯技光电作者: 技术部点击:打印
作为衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。
 
用于光栅建模的TEA与FMM

 
我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。
 
闪耀光栅的傅里叶模态分析

 
在VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。
 
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